什么是利用MEMS壓力傳感器的氣密性檢測裝置？

什么是利用MEMS壓力傳感器的氣密性檢測裝置？

它是一種使用高性能和極小的 MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）壓力傳感器來確定壓力變化（壓差）是否存在泄漏的裝置。

（MEMS：將機(jī)械元件、傳感器、電子電路等集成在單一基板上的裝置，利用MEMS壓力傳感器的特性來測量壓力變化。）

CW設(shè)備概覽

CW的特點(diǎn)是通過測量被檢產(chǎn)品外部密封空間（測量空間）的壓力變化來判斷產(chǎn)品有無泄漏，如下圖所示。

待測的測量空間體積應(yīng)盡可能小，以增加對(duì)壓力變化的敏感度。

為了靈活處理不同形狀的產(chǎn)品，測量空間采用硅橡膠并覆蓋。

設(shè)備主要部件

　　　*產(chǎn)品被硅橡膠覆蓋和密封的測量部分

　　　*真空泵

　　　*真空罐（穩(wěn)壓罐）

　　　*壓力調(diào)節(jié)閥等

　　　*MEMS壓力傳感器和測量CPU

　　　*電腦及應(yīng)用軟件

MEMS壓力傳感器板

設(shè)備特點(diǎn)

　　　?通過使用硅橡膠，可以靈活適應(yīng)被檢產(chǎn)品的形狀。

　　　　將難以檢驗(yàn)的產(chǎn)品檢驗(yàn)準(zhǔn)確率提高*。

　　　　（小型對(duì)象產(chǎn)品、化學(xué)容器、食品包裝等）

　　　?適用于含有液體的檢查對(duì)象產(chǎn)品。您可以更改產(chǎn)品的方向。

　　　?壓力傳感器非常小（2mmx2mm）。設(shè)備設(shè)計(jì)自由度高。

　　　?分辨率：0.025Pa 絕對(duì)精度：±0.5hPa，相對(duì)精度±0.025hPa