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可測量殘留氣體成分的真空計(jì)SC-10的特點(diǎn)
?通過監(jiān)測殘留氣體成分，可以監(jiān)控真空設(shè)備的健康狀況并立即發(fā)現(xiàn)異常情況。
?用一臺裝置即可測量真空度（總壓）和氣體成分（分壓）。
SC-10智能真空計(jì)是我公司研發(fā)的一款全新的自動真空計(jì)，既可以測量殘余氣體成分，也可以測量全壓真空。
總壓真空范圍從大氣壓到10-7Pa的超高真空，當(dāng)總壓達(dá)到約50Pa時(shí)，氣體成分的分壓自動開始，從而可以測量約10-5Pa到10-6Pa。 。
可以在粗略壓力范圍內(nèi)測量氣體成分并檢查是否有泄漏，而這對于傳統(tǒng)氣體分析儀來說是不可能的。
智能真空計(jì)可以測量殘留氣體的成分，因此即使在抽氣過程中，您也可以快速檢查真空設(shè)備的健康狀況，例如泄漏和水蒸氣脫氣。下面的兩張圖顯示了同一裝置的不同排氣數(shù)據(jù)，在圖1中，顯示了正常排氣，水蒸氣是主要成分并決定了總壓力真空，而在圖2中，氮?dú)庥捎谛孤┒Ｖ埂Ｏ蛳屡艢忾_始后約5分鐘，如果繼續(xù)排氣約10分鐘，則氮?dú)獾牧孔兊枚嘤谒魵?，并且總壓和真空度的降低停止。通過使用智能真空計(jì)，您可以快速發(fā)現(xiàn)僅通過監(jiān)測總壓力和真空度無法檢測到的排氣異常及其原因。
圖1
圖2
智能真空計(jì)不僅可以讓您知道是否存在泄漏，還可以噴射氦氣或氬氣來定位泄漏位置。圖3顯示了在泄漏位置噴射氬氣時(shí)智能真空計(jì)的數(shù)據(jù)，氬氣增加而氮?dú)鉁p少表明存在泄漏。泄漏停止后，如圖4所示，氮?dú)夂脱鯕鉁p少，水蒸氣成為主要成分，成為典型真空裝置的殘余氣體成分。
圖3
圖4
