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        用于太陽能電池等各種制造設備的壓力監測用壓力計CCMT-D系列介紹

        發布時間:2024-11-12 點擊量:1392

        用于太陽能電池等各種制造設備的壓力監測用壓力計CCMT-D系列介紹

        CCMT-D系列是電容式壓力計,其陶瓷膜片因氣壓變化而變形,并通過電容的變化來檢測壓力。傳感器部分采用陶瓷制成的一體化結構,因此具有優異的再現性和穩定性,無論何種氣體(絕對壓力表),都可以精確測量低真空和中真空區域的壓力。

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        目的

        • 用于薄膜沉積設備過程中的壓力監測

        • 用于真空熔煉、真空熱處理爐等真空排氣系統的壓力監測。

        • 用于太陽能電池等各種制造設備的壓力監測

        特征

        • 長期穩定

        • 由于使用陶瓷膜,具有優異的耐腐蝕性

        • 內置溫度補償電路型

        • 新采用的結構可保護傳感器免受污垢影響

        • 可通過按鈕進行零點調整

        規格

        模型CCMT-D
        測量
        滿量程
        CCMT-1000D133kPa 滿量程
        CCMT-100D13.3kPa滿量程
        CCMT-10D1.33kPa滿量程
        CCMT-1D133Pa 滿量程
        解決整個案例為 0.003%
        準確度*1±0.2%示值
        ±溫度系數
        溫度系數零電壓0.005%FS/℃
        量程電壓0.01% R/℃
        工作溫度范圍10~50℃
        響應速度30毫秒或更短
        氣體接觸材料Al 2 O 3、Vacon70 *2、SUS316 *3
        輸入功率DC14~30V,1W
        輸出直流0~10VF.S
        大量的329g(直徑12.7/標準型)
        外形尺寸直徑55mm x 117mm(直徑12.7mm,標準型)
        配件標準:直徑12.7管材
        選項:NW16KF、Cajon 8VCR
        溫度補償內置溫度補償電路
        輸入/輸出連接器D-sub 15 針公頭
        *1:打開電源2小時后,工作環境溫度為25℃。
        *2:18% Cr、10% Ni、3% Mo、69% Fe
        *3:28%鎳、23%鈷、49%鐵


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